SCMFM微氣體質量流量計MS傳感器型工作原理：

uf感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同時可靠性穩定,安全性更好。

在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

[微小氣體質量流量計]

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

應用：
1、冶金行業，焦化廠焦爐煤氣的測量；鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測量控制。   
2、食品及醫藥行業，通風系統；啤酒廠中的二氧化碳處理；熱氧化過程中氣體流量測量；鍋爐進氣﹑廢氣﹑過程控制；加工操作中新鮮空氣的加入；瓶子消毒器中的熱空氣的流量。   
3、公用工程--電﹑氣﹑水處理的監控，沼氣、煤氣、天然氣、液化氣、通用系統、管道的氣體、鍋爐預熱空氣。   
4、化學行業，化肥廠氨氣測量；煙氣循環監測；采樣系統中氣體流量計量；電池工廠各種氣體流量測量；引風機的氣體流量計量。   
5、電力行業，氫氣測量；燃氣爐中氣體測量；燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量；鍋爐及輔助系統中各種氣體的測量。   
6、紙漿與造紙行業，煙道流量監控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量；廢水處理系統中氣體的測量。   
7、石油與天然氣工業，能量交換；燃氣計量；天然氣測量；填井氣回收；泄漏氣測試；火炬氣的監控；
SCMFM微氣體質量流量計MS傳感器型概述：

采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

SCMFM微氣體質量流量計MS傳感器型技術參數：

2.1  測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2  流量范圍：DN3   30-300ml/min
               DN6   60-600ml/min
               DN8   80-800ml/min
               DN10  100-1000ml/min             
注：
   a)以上流量的測量介質為空氣而言；
   b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。
   c) 每個口徑量程范圍均可擴大
   d)特殊需要可單獨標定
2.3   流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍：0-55℃；
2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6   供電電源：24VDC±10%；
2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8   環境溫度：0-55℃；
2.9   顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。

SCMFM微氣體質量流量計MS傳感器型機械尺寸

SCMFM微氣體質量流量計MS傳感器型的輸出

PIN1：報警輸出2
PIN2：報警輸出1
PIN4：RS485B
PIN5：RS485A
PIN11：電源負端（0V）
PIN12：電斷正端（24V）
PIN14：LOOP-  
PIN15：LOOP+
PIN3、6~10、13：信號地（報警信號參考地）

8.2 報警連接

8.3 RS485連接：

8.4 4-20mA輸出連接：